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攻关项目

单晶硅生长炉振动消除应力,保证不锈钢密封法兰平面度

浙江大学每年向美国大量出口单晶硅生长炉,该生长炉生产的单晶的纯度很大程度上取决于不锈钢炉体大尺寸法兰面的平面度。采用西格马的设备及工艺后,法兰的加工精度及稳定性均大大提高。